X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy，简称XPS）是一种 表面分析技术，它利用X射线照射样品表面，激发出表面原子的内层电子，即光电子，并通过测量这些光电子的能量来获取有关材料表面成分、化学状态等关键信息。
XPS技术的原理基于爱因斯坦提出的光电效应。当X射线照射到材料表面时，会激发出表面原子的内层电子，这些电子被称为光电子。通过测量这些光电子的能量，我们可以获取有关材料表面成分、化学状态等关键信息。通过测量不同元素光电子的结合能（即光电子能量与束缚能的差值），可以识别和定性分析样品表面的化学元素。此外，结合能的微小变化反映了元素的化学状态（如氧化态等），因此XPS不仅可以定量分析材料表面的元素，还能提供化学状态的详细信息。
XPS技术具有高灵敏度和高分辨率的特点，广泛应用于各种研究和工业领域，包括材料科学、化学工程、生物工程、半导体等。它可以用于测定材料中元素构成、实验式，以及其中所含元素化学态和电子态的定量能谱技术。XPS技术在材料开发、材料剖析与失效机理的分析和研究中具有不可替代的作用。
总的来说，XPS是一种强大的表面分析工具，通过测量X射线激发的光电子能量，可以定性和定量地分析材料表面的化学成分和化学状态，对于材料科学和相关领域的研究具有重要意义。