微米技术，也称为 微机电系统（MEMS），是一种制造和加工微小尺寸结构和器件的技术。它涉及使用微米级别的尺寸控制和精确度，通常在1到100微米的范围内。微米技术始于1969年美国西屋公司设计的谐振栅—场效应晶体管，随后的十年中，一些制造厂商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器。技术上的突破一直持续到20世纪80年代初，使用新型多晶硅表面微加工技术来制造用于磁盘驱动磁头的驱动器。
微米技术是信息技术的一个名词，集成电路的制造尺寸必须以微米甚至纳米来计量。1微米是1毫米的千分之一。在微电子技术中，1微米可以容纳很多晶体管。例如，在只有头发丝直径大小的硅片上，当线宽为1微米时，就可以容纳400个晶体管；如线宽为0.5微米，晶体管可达1500个；线宽减到0.25微米，则晶体管可达4500个以上。
综上所述，微米技术是一种涉及微小尺寸结构和器件制造的技术，主要应用于微电子、生物医学、精密工程等领域。微米技术的核心是微机电系统（MEMS），它通过精细的加工技术如光刻、蚀刻等，制造微型器件如微电机、传感器、微流体设备等。