超微米技术是指 在微米和纳米级别的加工和制造技术。它涉及对材料在微米甚至纳米级别的精确控制，包括材料的设计、制造、测量和控制等方面。超微米技术是精密机械的基础技术，广泛应用于大型天文望远镜的抛物面反射镜加工、大规模集成电路的生产和研制等高科技领域。
具体来说，超微米技术包括以下几个关键方面：
微米级加工技术
超精密加工：利用金刚石车刀等工具，在材料上加工出几何精度高于1/10光波波长的表面，即几何形状误差小于0.05微米或2微时。
微纳制造：包括光刻技术，将集成电路的线纹宽度逐步缩小到0.1~0.1微米。
纳米级加工技术
纳米制造：涉及在纳米尺度上制造材料和器件，包括纳米电子、纳米材料、纳米生物等。
纳米电子学：研究纳米尺度下的电子器件和系统。
测量和控制技术
纳米测量：在纳米尺度上测量材料的物理和化学性质。
纳米控制：对纳米尺度的系统和过程进行精确控制。
超微米技术的发展不仅推动了高科技产业的进步，如微电子、纳米电子和纳米材料等，还将在未来进一步提高物质储存、处理信息和运动控制的能力，开创全新的科技革命。