ZYGO MX软件的使用方法如下：
区域分析
ZYGO MX自带的区域分析（Region Analyze）功能可以根据“数据有效性”的特征，按“数据岛”的特征分离数据，再进行横向尺寸的分析和统计。
结合Cognex® VisionPro™套件
用户可以基于不同的特征来分离区域，例如基于图像灰度变化、3D干涉仪的高度测试结果或三维高度的变化（坡度值）来识别特征。
计算位置偏移和旋转
结合Cognex® VisionPro™套件，ZYGO Mx可以基于一个或多个预设的特征，计算当前数据的位置偏移和旋转。这对于测量自动化非常重要，特别是在自动加载样品后，通过判读预设特征点，了解样品位置的偏离，从而准确加载预设的Mask，进行进一步分析，以及对样品台的移动进行准确补偿。
建议在实际使用中，先熟悉ZYGO MX软件的基本操作界面和功能，然后根据具体的应用需求选择合适的特征进行区域分析和数据处理。结合Cognex® VisionPro™套件可以大大提高分析的准确性和效率。