微型加工技术是指 制造微小尺寸零件的加工技术。它涵盖了各种传统精密加工方法和与其原理截然不同的新方法，如微细切削磨料加工、微细特种加工、半导体工艺等。在狭义上，微细加工技术主要指半导体集成电路的微细制造技术，包括气相沉积、热氧化、光刻、离子束溅射、真空蒸镀等。
微型加工技术具有能够在狭小空间内进行作业，而不扰乱工作环境和对象的特点。因此，它在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应用潜力，并成为纳米技术研究的重要手段。微型加工技术的主要应用包括：
微型机械系统：
集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微型器件或系统。
半导体制造：
在微小面积的半导体上制造功能复杂而完善的电路，提高集成电路的集成度。
纳米技术研究：
微机械加工技术为纳米技术研究提供了重要手段。
微型加工技术的发展现状和趋势表明，它是一种从微米到纳米量级的先进制造技术，广泛应用于各种高科技领域。