分析X射线光电子能谱（XPS）的软件有多种，以下是一些常用的软件：
Thermo Avantage
开发者：美国Thermo Fisher Scientific公司
功能：一键式荷电校准、谱峰识别（自动和手动）、分峰拟合（单峰、双峰及非线性最小二乘法）、基线校正、谱线拟合、区域分析与薄膜厚度计算等。
XPSPeak
主要功能：分峰拟合，帮助用户确定样品表面元素的化学状态和相对含量，处理重叠峰等复杂数据。
Origin
功能：常用的数据处理和绘图软件，也支持XPS数据的解析和拟合。
CasaXPS
功能：提供全面的XPS数据分析功能，包括分峰拟合、定量分析等。
XPS Viewer
开发者：微软公司
功能：用于浏览XPS文件，适用于Vista和Windows 7系统。
这些软件各有特点，用户可以根据自己的需求和习惯选择合适的软件进行XPS数据分析。特别是Thermo Avantage和XPSPeak，在科研领域应用较为广泛，功能也较为强大。