TCAD（工艺器件仿真）软件是电子设计自动化（EDA）领域中的重要工具，用于模拟和分析半导体器件和工艺的性能。以下是一些已知的TCAD软件：
Mozz TCAD：
由苏州培风图南半导体有限公司开发的三维工艺和器件仿真软件套件。Mozz TCAD经过多个版本的迭代，实现了与国外标杆软件的全面对标，并在部分应用场景中表现出色。
TCAD-SPICE：
这是一款由华大九天开发的快速建模工具，属于国产EDA工具链的一部分。TCAD-SPICE旨在帮助工程师更高效地创建和验证电路仿真模型。
SPICE：
由概伦电子旗下的软件产品，已达到国际领先水平，并在TCAD领域持续布局，助力实现EDA全流程覆盖。
这些软件工具在集成电路设计和制造过程中发挥着关键作用，帮助工程师优化工艺流程和提高器件性能。随着国产EDA技术的不断进步，预计未来会有更多国产TCAD软件涌现，进一步推动国内半导体行业的发展。