起诉软件侵犯隐私的步骤如下：
收集证据
收集软件获取、使用个人隐私信息的相关记录，如软件运行日志、权限申请记录等。
收集因软件侵犯隐私导致的自身权益受损的证据，如遭受骚扰、财产损失等情况的证明。
检查软件的权限设置，若其要求过度的隐私权限，可能存在侵权嫌疑。
检查软件是否有明确的隐私政策，若政策中承诺保护用户隐私却未做到，也可作为证据。
确定起诉的法律依据
依据相关隐私保护法律法规，明确软件侵犯隐私的行为性质及应承担的法律责任。
准备起诉状
清晰陈述起诉的缘由、请求及相关事实依据。
明确被告，即软件的开发者或运营者。
提交起诉状及证据
将起诉状及收集到的证据提交至有管辖权的法院，并按照法院的要求缴纳诉讼费用等相关手续。
寻求专业律师的帮助
聘请专业律师，他们能够更好地指导你完成起诉程序，维护你的合法权益。
在整个过程中，要注意证据的合法性和有效性，以确保起诉的顺利进行。如果软件侵犯隐私的行为涉及到违法犯罪，如窃取个人敏感信息用于非法牟利等，应及时向公安机关报案，让司法机关介入调查。