UV光氧催化设备的工作原理主要包括以下几个步骤：
光激发过程
UV光源（通常为汞灯或LED灯）发出特定波长的紫外线，照射到光催化剂（如二氧化钛TiO2）表面。光催化剂吸收光能，其表面的电子被激发到更高的能级，形成光生电子（e-）和空穴（h+）。
自由基生成
光生电子和空穴具有很强的氧化还原能力。它们可以与吸附在光催化剂表面或周围的水分子（H2O）和氧气分子（O2）反应，生成羟基自由基（·OH）和超氧阴离子（·O2-）。这些自由基是强氧化剂，能够分解大多数有机物质和部分无机物质。
污染物分解
废气中的有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在光催化剂及紫外线光束的共同作用下，发生光解和光催化协同作用。反应过程中生成的臭氧（O3）、羟基自由基（·OH）及超氧阴离子（·O2-）将有机或无机高分子恶臭化合物通过氧化反应，逐步降解为二氧化碳（CO2）、水（H2O）等低分子无臭无害化合物。
臭氧的作用
UV光氧催化设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧（活性氧），因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧（O3）。臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的去除效果。
催化反应
设备中添加的特制催化剂（如蜂窝状金属网孔作为载体的TiO2）在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使废气与光源充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
废气排出
经过处理的废气通过排风管道排出设备，达到除臭、杀菌和净化空气的目的。
综上所述，UV光氧催化设备通过高能紫外线光束激发光催化剂产生自由基，结合臭氧的强氧化作用，高效地分解废气中的有害物质，达到净化空气的目的。该设备具有高效、节能、环保等优点，广泛应用于工业废气处理、恶臭气体净化等领域。