EBSD技术，即 电子背散射衍射技术，是一种在材料科学领域中广泛应用的分析技术。它通过与扫描电子显微镜（SEM）的结合使用，能够提供材料表面下微观结构的详细信息，包括晶粒的取向、晶界类型、再结晶碳化物、显微织构、相鉴别以及晶界特征等。这些信息对于理解材料的力学性能、热处理过程、相变行为以及微观结构与宏观性能之间的关系至关重要。
EBSD技术的工作原理是：当高能电子束入射到样品表面时，与样品中的原子发生弹性散射，产生背散射电子。这些背散射电子在晶体中的规则排列的晶格面上产生衍射，形成衍射图案。通过分析这些衍射图案，可以获取晶体的晶体学信息，如晶粒取向、晶界类型和相分布等。EBSD技术具有高分辨率（空间分辨率和角分辨率分别达到0.1μm和0.5μm）和快速数据采集能力（可达36万点/小时甚至更快），使其成为材料研究中一种有效的分析手段。
EBSD技术的应用包括：
晶粒取向分析：
通过测量衍射环的分布，确定晶体的取向，有助于理解材料的力学性能和相变行为。
晶界特征分析：
识别晶界类型和晶界特征，有助于研究材料的微观结构和性能。
相鉴别：
通过分析衍射图案，识别不同物相，有助于理解材料的组成和结构。
显微织构分析：
揭示材料的织构特征，有助于理解材料的宏观性能和塑性变形行为。
应力分布测定：
通过分析晶粒取向的变化，可以测定材料中的应力分布。
EBSD技术已成为材料科学研究中不可或缺的工具，极大地推动了材料科学领域的研究进展。为了获得高质量的EBSD分析结果，样品的制备是至关重要的一步。