老旧厂房的审批程序主要包括以下几个步骤：
建设工程规划许可证
建设单位或个人需要向城市或县人民政府城乡规划主管部门申请建设工程规划许可证。
建筑工程施工许可证
在取得建设工程规划许可证后，建设单位应向工程所在地的县级以上人民政府建设行政主管部门申请领取施工许可证。
环境影响评价审批
需要进行新建设项目的环境影响报告书审批，即环评审批。
消防审批
厂房改造前需进行消防检验和设施安装，并向当地消防局报批。审批流程包括提交消防设计图纸和相关资料，获得消防设计申报批复同意后方可施工，施工完成后需进行电气检测和消防检测，并填写验收申报表。
房屋安全鉴定
如果厂房需要扩建或改建，需提交申请书，由当地房屋安全鉴定公司审定装修方案，并在20天内给予答复。
产权证办理
完成上述审批后，进行规划局验收，将规划许可证副本换为正本，并提交相关文件办理房产证。
建议在进行老旧厂房改造前，详细咨询当地相关部门，了解具体的审批流程和所需材料，以确保审批过程顺利进行。